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分子泵管式爐ZX-12ZGL 庫號:M182307 1、真空系統為分子泵機組:即為分子泵+旋片泵,FF160+TRP-24;由分子泵、旋片真空泵、充氣閥、高真空檔板閥(主閥)、高真空檔板閥(預抽閥)、高真空檔板閥(出口閥)、前級管路充氣閥、連接管路、密封圈、復合真空計及配電柜等組成的抽氣系統。
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